由西安交通大学完成的“大长径比复合纳米探针可控制备及可溯源测量方法”,开发了碳纳米管探针、纳米光学探针和复合纳米探针三类新型探针及测量系统,解决了大深宽比微纳结构测量这个半导体芯片领域的严重“卡脖子”难题。该项目的核心技术经中国计量测试学会推荐,入选了2020年“科创中国”先导技术榜单。
由清华大学和中国科学院微电子研究所共同完成的“光频梳绝对距离测量关键技术及应用”,在光频梳源头上解决了噪声抑制问题,在测量过程中解决了脉冲溯源难题,并拓展了单靶镜六自由度测量,有效支撑了高端装备制造业发展。
由哈尔滨工业大学完成的“甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器”项目,针对国产高端装备制造前沿科学研究中的高速超精密测量需求,成功研制系列超精
基础研究类一等奖(四项)
应用研究类二等奖(六项)
序号
项目名称
完成单位
完成人
序号
项目名称
完成单位
完成人
1
光频梳绝对距离测量关键
清华大学、
吴冠豪、倪凯、周维虎、周倩、纪荣祎、
1
水质监测无机成分标准物质和
中国计量科学研究院
技术及应用
中国科学院微电子研究所
周思宇、石俊凯、余浩洋、董登峰、曾理江
量传技术研究与应用
2
大长径比复合纳米探针可控
西安交通大学
杨树明、张国锋、李少博、程碧瑶、王飞、
2
超灵敏度检漏及校准技术研究
北京东方计量测试研究所、
制备及可溯源测量方法
王琛英、林启敬、韩枫、李磊、李常胜
北京华北莱茵光电技术有限公司、
3
甚多轴高速超精密激光
哈尔滨工业大学
胡鹏程、付海金、杨宏兴、杨睿韬、邢旭、
合肥工业大学
干涉测量技术与仪器
常笛
3
天然气关键组分计量溯源体系建立 中国计量科学研究院、
4
快速动态真空校准技术及应用
中国石油西南油气田分公司
周理、韩桥
中国航天科技集团有限公司第五研究院 习振华、成永军、孙雯君、李刚、郭美如、第五一〇研究所
张虎忠、董猛、丁栋、贾文杰、冯天佑
天然气研究院、天然气分析测试研究所、中国测试技术研究院化学研究所
基础研究类二等奖(二项)
序号
项目名称
完成单位
完成人
4
微波分布参数/射频阻抗测试仪 中国测试技术研究院、
1
国家湿度基标准测量能力
中国计量科学研究院、
易洪、李占元、张学范、崔剑、许超、
成都玖锦科技有限公司、
李刚、余真
和体系的建立与完善
中国兵器工业集团第五三研究所、
丁五行、任长青、杨菊
成都航空职业技术学院、西南交通大学
北京市国瑞智新技术有限公司、泰普联合科技开发(北京)有限公司、福建省计量科学研究院
5
医用放射影像设备计量测试方法 北京市计量检测科学研究院、
的创新与应用
首都医科大学宣武医院
2
国家微波功率基准的
中国计量科学研究院、
崔孝海、袁文泽、李勇、吴昭春、蔡小宏、丁晟、
6
视频电子参数计量方法和关键
中国计量科学研究院、
研制和应用
西安空间无线电技术研究所
刘潇蒙、梁伟军
技术研究与应用
北京工业大学
基础研究类三等奖(三项)
应用研究类三等奖(九项)
序号
项目名称
完成单位
完成人
序号
项目名称
完成单位
完成人
1
半导体核辐射探测器
中国测试技术研究院、
黄平、高武、杨勇、刘操、龚岚、黄秋
1
环境空气气态污染物
中国测试技术研究院化学研究所、
用超低噪声和高计数
西北工业大学、
监测数据量值溯源技
四川中测标物科技有限公司
率前端读出芯片研制与应用
中测测试科技有限公司
术研究及应用
电磁兼容暗室反射特性时域校准技术 中国航天科工集团第二研究院二〇三所 韩玉峰、康宁、袁岩兴、吴红森、黄建领、齐万泉
2